(1)加工机理  

除传统加工办法的精细化外，非传统加工(特种加工)办法发展迅速。当前，传统加工办法主要有金刚石刀具精细切刚、盘刚石微粉砂轮精细磨削、精细高速切削和精细砂带磨削等；非传统加工办法主要有电子束、离子束、激光束等高能束加工、电火花、电化学加工、光刻(刻蚀)等。并呈现了具有复合加工机理的电解研磨、磁性研磨、磁流体抛光、超声珩磨等复合加工办法。加工机理的研讨是精细和超精细加工的理论基础和新技能的生长点。 

(2)被加工材料  

精细机械加工的被加工资料在化学成分、物理力学功用、化学功用、加工功用上均有严格要求，应该质地均匀、功用安稳、外部内部均无微观和微观缺陷。符合功用要求的被加工资料才干得到精细机械加工的预期效果。 

(3)加工设备和工艺配备 

精细机械加工应有高精度、高刚度、高安稳性和自动化的机床，相应的金刚石刀具、立方氮化硼刀具、金刚石砂轮、立方氮化硼砂轮． 及相应的高精度、高刚度夹具等工艺配备，才干确保加工质量。 精细机械加工应首先考虑要有相应精度的精细加工机床，不少精细机械加工往往是从设计制作其超精细机床开始的。并要装备所需刀具。现在，通用的系列的精细机械加工机床较少．批量也不会大。精细机械国工机床造价很高，需专门订购，如果在已有的精细机械加工机床上加工尚不能满足要求时。可经过工艺办法或差错补偿等来提高加工精度。 

(4)检测 

精细机械加工有必要具备相应的检测技能，形成加工和检测一体化。对于精细机械加工的检测有三种方法：离线检测、在位检测和在线检测。离线检测是指在加工完成后，将工件送到检验室去检测；在位检测是指工件在机床上加工完成后不卸下，地进行检测，若发现有什么问题．便于再进行加工；在线检测则是在加工过程中进行检测，以便可以自动操控和实施动态差错朴偿。差错补偿是提高加工精度的重要办法，是在机床制造精度已到达必定水平的基础上。别离出其影响差错，利用差错补偿装置对差错值进行补偿。其间静态差错补偿是根据事先侧出的差错值，在加工时经过硬件或软件进行补偿，如机床传动丝杠的螺距差错可经过批改尺来进行补偿；动态差错补偿是在线检测的基础上，在加工时进行实时补偿。精细机械加工的在线检测补偿技能是精细机械加工完成质量确保的关键技能。将检测技能融于精细机械加工的内容之中，采用在线丈量的方法，能使操作者及时发现工件存在的问题，并反馈给数控体系。据抽样调查，现在我国因产品质量问题，如废品、次品、返修品等，所造成的经济损失约为产值的10%～15% ，而在线丈量技能应用于精细机械加工，其直接的经济效益在在于既节省了工时又提高了丈量精度。而且因为利用了机床数控体系的功用，又使得数控体系能及时得到检测体系所反馈的信息，然后能及时批改体系差错和随机差错，以改变机床的运动数，更好地确保加工质量，促进加工丈量一体化的发展，确保了精细机械加工良性发展

(5)工作环境 

精细机械加工要求在必定的环境下工作，才干到达在精度和表面质量上的技能参数。工作环境的条件主要有温度、湿度、净化、防振等方面的要求，有时尚有噪声、光、静电、电磁、放射线等方面的特殊要求。