精细零件加工精度以纳米，乃至终以原子单位(原子晶格距离为0.1～0.2纳米)为方针时，超精细零件切削加工办法已不能适应，必要借助特种精细零件加工的办法，即应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量逾越原子间的联合能，然后去除工件外表的部分原子间的附着、联合或晶格变形，以达到超精细加工的目的。

归于这类加工的有机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀和分子束外延等咱们把精细机械加工分为以下四个阶段：

一、先面后孔对于箱体、支架和连杆等零件应先加工平面后加工孔。这样可以以平面定位加工孔，确保平面和孔的方位精度，而且对平面上的孔的加工带来便利。

二、先加工基准面零件在加工过程中，作为定位基准的外表应首先加工出来，以便尽快为后续工序的加工供给精基准。称为“基准先行”。

三、光整加工主要外表的光整加工（如研磨、珩磨、精磨\滚压加工等），应放在工艺路线终阶段进行，加工后的外表光洁度在Ra0.9um以上，细微的碰撞都会损坏外表，在日本、德国等国，在光整加工后，都要用绒布进行维护，不准用手或其它物件直接触摸工件，避免光整加工的外表，由于工序间的转运和安装而受到损害。

四、区分加工阶段加工质量要求高的外表，都区分加工阶段，一般可分为粗加工、半精加工和精加工三个阶段。主要是为了确保加工质量；有利于合理运用设备；便于安排热处理工序；以及便于时发现毛坯缺陷等。